イオンテクノセンターは、
第15回 窒化物半導体国際会議（ICNS-15：15th International Conference on Nitride Semiconductors）にて
GaN(0001)へのMgチャネリング注入に関するポスター発表を行います。
【開催期日】
2025年7月6日(日)～11日(金）
【開催地】
・マルメ (スウェーデン)
【発表日時】
・2025年7月8日(火) 17:00～19:00
【タイトル】
・Effects of Tilt Angle and Dose on Mg Channeled Implantation into GaN(0001)
【学会HP】
・https://mkon.nu/icns-15
☆発表内容☆
弊社では、今まで培ってきたイオン注入やシミュレーション技術を活かして、チャネリング注入に関する研究に取り組んでおり、当日はGaN(0001)へのMgチャネリング注入における傾斜角と注入量の影響についてご紹介をさせていただきます。