イオンテクノセンターは、CSW2026 (Compound Semiconductor Week)にて、GaN(0001)へのMgチャネリング注入に関する口頭発表を行います。
【開催期日】
2026年5月24日(日)～28日(木）
【開催地】
・熊本城ホール (熊本)
【発表日時】
・2026年5月28日(木) 11:30～11:45
【タイトル】
・Channeled implantation of Mg ions into homoepitaxial and heteroepitaxial GaN(0001)
【学会HP】
・https://csw-jpn.org/
☆発表内容☆
弊社では、今まで培ってきたイオン注入やシミュレーション技術を活かして、チャネリング注入に関する研究に取り組んでおります。当日はGaN(0001)へのMgチャネリング注入における傾斜角や注入量、更には転位が及ぼす影響についてご紹介をさせていただきます。