株式会社イオンテクノセンターは第87回 応用物理学会春季学術講演会展示会「JSAP EXPO Autumn 2026」に出展致します。
また、弊社研究開発部門より研究発表を行います。
皆様のご来場を心よりお待ちしております。
【開催日時】
2026年9月8日(火)～10日(木) 9：00～18：00
9月11日(金) 9：00～13：00
【開催場所】
北海道大学 札幌キャンパス 第一体育館・第二体育館
【主なご案内内容】
・イオン注入/物理分析サービスのご紹介
・信頼性試験/不良解析サービスのご紹介
・イオン注入・受託分析・信頼性試験に関する技術相談
当日は、担当者が直接ご説明し、課題解決に向けたご提案も可能です。
ぜひお気軽にお立ち寄りください。
【講演情報】
GaNへのチャネリング注入について 以下の2件を発表いたします。
【日時】
①2026年9月8日(火) 14：30～
②2026年9月11日(金) 12：15～
【場所】
北海道大学 札幌キャンパス
①N102 (総合教育棟 N棟)
②A21 (情報研究棟)
【内容】
一般セッション(口頭講演)にて
①シンポジウム：量子ビームの半導体プロセス・評価技術への応用
[8p-N102-3]
GaNパワー半導体応用に向けたGaN(0001)へのMgのチャネリングイオン注入
〇須山 篤志1、南川 英輝1、青木 正彦1、横田 一広1 (1.株式会社イオンテクノセンター)
②13 半導体：13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価
[11a-A21-6]
GaNへのチャネリングイオン注入における深さ分布と電子的阻止能のイオン種依存性
〇南川 英輝1、横田 一広1、青木 正彦1、須山 篤志1 (1.株式会社イオンテクノセンター)