皆様のご来場を心よりお待ちしております。
【開催期日】2018年9月18日(火)～9月21日(金)
【開催場所】名古屋国際会議場
名古屋国際会議場へのアクセス
◎一般セッション 口頭講演
講演番号 19p-CE-14
高温でイオン注入されたGaN基板のTEMによる欠陥評価（Ⅱ）
前川順子 1、川野輪仁 1、青木正彦 1、高廣克己 2、一色俊之 2
（1 ㈱イオンテクノセンター 2 京都工芸繊維大学）
【日時】2018年9月19日（水）17:45～18:00
【会場】CE会場（センチュリーホール）
◎展示会 JSAP EXPO Autumn2018
【日時】2018年9月18日（火）～9月21日（金）
・18日（火） 13:00～18:00
・19日（水） 9:30～18:00
・20日（木） 9:30～18:00
・21日（金） 9:30～15:30
【小間位置】 Bm-4
☆主なご案内内容☆
・イオン注入から成膜、その他工程の受託サービス
・弊社の受託分析サービス
※イオン注入＆受託分析などについて詳しく丁寧にご説明させて頂きます。