２）窒化ガリウムへのイオン注入

作成者: イオンテクノセンター｜Aug 24, 2025 9:34:37 AM

縦型パワーデバイスの開発に不可欠な窒化ガリウムへのMg イオン注入現象をMARLOWE コードによる解析結果を用いて説明します。