深さ分析 定量化
表面分析 異物分析 化学結合分析 角度分解分析 組成分析
応力測定 線分析 面分析
組成分析 密度測定 結晶性分析
観察 EDX(点、線、面分析) EELS(表面分析) サンプル加工(FIB、ミリング)
観察 元素分析(定性) 線分析 面分析
結晶性の確認 格子定数、結晶子径の測定