二次イオン質量分析

深さ分析
定量化

X線光電子分光分析

表面分析
異物分析
化学結合分析
角度分解分析
組成分析

ラマン分光分析

応力測定
線分析
面分析

ラザフォード後方散乱分析

組成分析
密度測定
結晶性分析

透過電子顕微鏡

観察
EDX(点、線、面分析)
EELS(表面分析)
サンプル加工(FIB、ミリング)

走査電子顕微鏡

観察
元素分析(定性)
線分析
面分析

X線回析装置

結晶性の確認
格子定数、結晶子径の測定

その他