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半導体故障解析

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透過型X線
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3次元測定機

透過型X線

X線CT 3次元測定機

開封・故障箇所特定

開封
エミッション顕微鏡
OBIRCH THEMOS
nano prober  など

開封

エミッション顕微鏡

THEMOS

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故障箇所分析

観察  FIB,SEM,TEM,AFM など
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除膜解析

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