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RGA分析

弊社では密閉パッケージ内の水分や残留ガス分析及び密閉度試験のサービスを開始します。

高度な信頼性を求められる品質管理や研究開発にお役に立ちます。
電子デバイス内の微量水分や残留ガスの成分の特定を行います。
また、微小リーク試験も受託いたします。

RGA分析

密閉封止されたデバイス内の残留ガス分析

分析内容

  • 弊社では気密封止された電子デバイスパッケージ内水分や残留ガス成分の分析を行います。
  • 電子デバイスの信頼性を左右する要因の一つに微量水分の存在があります。
  • RGA分析ではセラミックパッケージ、メタル封止(Can型)パッケージなど気密封止されたデバイスの空洞部(空隙部)の水分や残留するガス成分の含有量、成分の特定を行います。
     (RGA:Residual Gas Analysis)
  • 本試験は、米国Oneida Research Services社(ORS)で行います。

分析手法

  • 高感度IVA分析と呼ばれる「HR-IVA分析」では、従来のパッケージ内ガス分析では検出できなかった微小封止パッケージの水分量や内部ガス成分も検出できます。
  • IVA(Internal Vapor Analysis)又はHR-IVA(高感度IVA)の2種でご提供いたします。
  • MIL-STD-883/750 規格に準拠した分析手法で結果をご提供します。
    Mil-Std-883/750, method 1018

事例

  • 宇宙防衛関連部品
  • 光部品(レーザーダイオード、フォトダイオード、LED)
  • リードスィッチ、水晶発振器、SAWデバイス
  • 超微小空洞パッケージ(CCDセンサー、MEMSなど)
  • 放電管、ランプ
  • 医療デバイス(ペースメーカー)
  • ガスシリンダー

分析手法の比較

IVA/HR-IVA分析手法の比較

  IVA® HR-IVA®
測定可能内部空洞容量 >0.01cc >1nl (1x10-6cc)
DLA認可容量 >0.01cc >0.0006cc
測定質量範囲 2~512amu 2~500amu
取得速度 ~2ms/mass 10us/scan
分解能 1amu 1/1000amu

*DLA: Defense Logistics Agency Land and Maritime

気密性試験:リーク試験

密閉封止されたデバイスのリーク試験

分析内容

  • 弊社では、密閉封止されたデバイスのリーク試験(密閉度性試験)を行います。
  • リーク試験とは、内部に空隙を持ったパッケージの電子デバイスにおいて、最も重要である気密性を確認する試験です。密閉パッケージの空隙部分は、窒素や希ガス等の不活性ガス、真空雰囲気で封止され、その雰囲気は低い露点で保たれています。しかし、密閉性が保持されていないと、大気成分である水分や酸素がパッケージの空洞部分に浸入し、チップの酸化や腐食、内圧の変化、容量成分の劣化などが発生し、抵抗値異常などが生じ、デバイスの機能に影響を与えます。
  • 弊社では微小空洞パッケージや真空封止された密閉パッケージです。非常に高感度のKr85リーク試験(ラジフロ試験)と高感度Heリーク試験によりファインリーク、グロスリークを調査いたします。
  • 測定範囲は、いずれも<1 x 10-12 atm cc/sec Air
  • MIL-STD-883/750 規格に準拠した分析手法で結果をご提供します。
  • 本試験は、米国Oneida Research Services社(ORS)で行います。

Kr85リーク試験試料室


HSHLD®試験試料室
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