2022年9月26日から29日にかけて幕張メッセで開催された
International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM) 2022
にて下記の口頭発表(1件)を行いました。
Characterization of Magnesium Channeled Implantation Layers in GaN(0001)
Atsushi Suyama1,2. Hitoshi Kawanowa2, Hideaki Minagawa2, Junko Maekawa2,
Shinji Nagamachi2, Masahiko Aoki2, Akio Ohta1, Katsunori Makihara1
and Seiichi Miyazaki1
1Graduate school of Engineering, Nagoya University, 2Iont Technology Center CO., Ltd,