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【2016.10.26】新規導入装置(デュアルビームFIB加工及び走査電子顕微鏡)のご紹介

作成者: イオンテクノセンター|Sep 26, 2016 7:46:00 AM

イオンテクノセンターは10月に新たに
「デュアルビームFIB加工及び走査電子顕微鏡」を導入致しました。


今までご利用頂いておりましたFIBに加えてSEM、STEMも搭載しておりますので、より一層高精細な加工、観察が可能となり、且つスピーディーな対応が可能となりました。

【装置】   DualBeam FIB
【メーカー】 FEI社
【型式】   Helios400S
【特徴】
FIB機能に加えてFE-SEM、STEMを搭載しており精度良く、且つ高解像の観察が可能となります。
 ・FE-SEMを搭載しているためFIB加工後の断面を高分解能で即観察可能。
 ・FIB加工においては自動加工が可能となりスピーディーな対応可能
 ・STEM(30keV)を搭載しているため、加工後大気開放せず観察可能
 ・FIBとSEMによりスライス&ビューにより3D観察が可能

☆FIBとは?
FIBとは細く集束したイオンビームを試料表面で走査することにより、試料表面を加工することや、発生した二次電子などを検出し観察することが可能な装置です。
利用用途としては、SEM用の断面試料作製あるいはTEM、STEM観察用の薄片化試料作製に多用されます。
また、弊社導入装置にはFIBと合わせてFE-SEMやSTEMが搭載されているため加工後すぐ、加工しながらの観察も可能です。

☆ご利用例
 ・半導体デバイスの断面SEM観察(左中図参照)
 ・高品質な断面試料作製(左下図参照)