２）窒化ガリウムへのイオン注入

作成者: イオンテクノセンター｜Nov 10, 2023 3:55:44 AM

縦型パワーデバイスの開発に不可欠な窒化ガリウムへのMg イオン注入現象をMARLOWE コードによる解析結果を用いて説明します。