イオン注入 トピックス
縦型パワーデバイスの開発に不可欠な窒化ガリウムへのMg イオン注入現象をMARLOWE コードによる解析結果を用いて説明します。
> イオン注入基礎理論_2_窒化ガリウムへのイオン注入
