イオン注入 トピックス
二体散乱近似のシミュレーションコードMARLOWE の解析機能に触れながら衝突現象についての基礎的な理論でイオン注入現象をご説明します。
> イオン注入基礎理論_1_二体散乱近似に基づくイオン注入現象
