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注入イオン種
B、P、ASだけでなくAI、N原子など60種類以上の原子が注入可能です。
加速エネルギー
幅広いエネルギー領域でのご対応が可能です。
中電流装置 5〜700keV（2価イオン利用にて。イオン種によります。事前にご相談ください）
高エネルギー装置 〜8MeV（イオン種によります。事前にご相談ください）
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イオン注入についての基礎知識をまとめた
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当ウェブサイトの情報において、可能な限り正確な情報を掲載するよう努めておりますが、その内容の正確性および完全性を保証するものではございません。当ウェブサイトのコンテンツやURLは、予告なしに更新、追加、変更又は廃止、削除等されることがありますので、予めご了承下さい。上記事由を含め、当該情報に基づいて被ったいかなる損害、損失について、当社は一切責任を負うものではございません。著者の所属は執筆時点のものです。当ウェブサイトならびに当ウェブサイト内のコンテンツ、個々の記事等の著作権は当社に帰属します。
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