SiC、GaNに続く先端材料へのイオン注入から、表面改質のためのイオン注入までの受託サービス
SiCの活性化アニールのような高温アニールから、拡散・シンターまでの受託サービス
半導体の電極形成、SiCのキャップ膜成膜から、金具等の改質までの受託サービス
半導体工程(前工程)全般の受託サービス
各種材料の表面及び断面のnmオーダーの詳細な分析結果と分析手法のご提案まで
外観検査から故障発生状況把握から、故障原因を推定まで
インキュベーションや技術開発サポートから産官学の連携マッチングまで
装置評価に用いるパターン付、膜付きウェハ、注入済みウェハの販売