事業案内
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SiC、GaNに続く先端材料へのイオン注入から、表面改質のためのイオン注入までの受託サービス
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SiCの活性化アニールのような高温アニールから、拡散・シンターまでの受託サービス
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半導体の電極形成、SiCのキャップ膜成膜から、金具等の改質までの受託サービス
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半導体工程（前工程）全般の受託サービス
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各種材料の表面及び断面のnmオーダーの詳細な分析結果と分析手法のご提案まで
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外観検査から故障発生状況把握から、故障原因を推定まで
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インキュベーションや技術開発サポートから産官学の連携マッチングまで
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装置評価に用いるパターン付、膜付きウェハ、注入済みウェハの販売