イオン注入 トピックス

3)酸化ガリウムへのイオン注入

2023.11.10

次世代パワー半導体デバイスとして期待されているベータ型酸化ガリウムへのイオン注入現象について説明します。

イオン注入基礎理論_3_酸化ガリウムへのイオン注入

TOP