イオン注入・成膜・分析の技術と設備をあらゆる分野のイノベーションにつなげる

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事業案内

  • イオン注入

    SiC、GaNに続く先端材料へのイオン注入から、表面改質のためのイオン注入までの受託サービス

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  • アニール活性化

    SiCの活性化アニールのような高温アニールから、拡散・シンターまでの受託サービス

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  • 成膜

    半導体の電極形成、SiCのキャップ膜成膜から、金具等の改質までの受託サービス

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  • 半導体プロセスサービス

    半導体工程(前工程)全般の受託サービス

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  • 物理分析

    各種材料の表面及び断面のnmオーダーの詳細な分析結果と分析手法のご提案まで

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  • 半導体故障解析

    外観検査から故障発生状況把握から、故障原因を推定まで

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  • コンサルティング

    インキュベーションや技術開発サポートから産官学の連携マッチングまで

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  • ウェハ

    装置評価に用いるパターン付、膜付きウェハ、注入済みウェハの販売

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