2025年8月19日にGaN自立基板へのMgチャネリング注入に関する研究成果が学術論文誌JJAP (Japanese Journal of Applied Physics)にて掲載されました。
掲載雑誌:Japanese Journal of Applied Physics, Volume 64, 086502 (2025)
題名:Experimental study on tilt and dose dependence and a proposal for a simplified model for simulation in magnesium channeled implantation into GaN (0001)
URL:https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1347-4065/adf679