原子間力顕微鏡（AFM）

分析原理

試料表面に端子を走査し、ナノオーダーの凹凸形状を3D観察する手法

特徴

大気中での観察が可能
表面凹凸を2次元、3次元で観察が可能

事例

・半導体材料の微小凹凸把握
・薄膜の原子ステップの把握

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