RuO₄／OsO₄電子染色サービス

半導体デバイスの微細化に伴い、レジスト等の有機材料をTEM観察でより正確に評価するため、RuO₄／OsO₄による電子染色
サービスを開始しました。

電子染色によるTEMコントラストの向上や形状安定化を活用し、より明瞭で、実態に近い形状評価を目指します。

・電子染色による期待できる効果

①TEMコントラストの向上
　パターン形状や膜厚、界面等の明瞭化 

②レジストパターン等のシュリンク・変形の影響低減
　試料作製時の熱等によるシュリンクや変形の抑制

③相分離構造等の微細構造の可視化
　ポリマーブレンド材料等の微細構造の可視化

   ※材料、構造、染色条件等によって染色の効果は異なり、効果を保証するものではありません。

・電子染色の効果が期待できる材料

以下のような材料で、コントラスト向上や観察・加工時の変形抑制により、微細構造をより明瞭に観察できる場合が
あります。

▸レジスト

▸有機ハードマスク・SOC 

▸ポリマーブレンド材料 

▸Low-k 

▸有機・無機複合材料 

▸接着剤・封止材料 

※材料によって染色効果の程度は異なります。

・バッチ単位の料金設定

個数単位ではなく、バッチ単位で料金を設定しています。複数個をまとめてご依頼いただくことで、1個あたりの単価を
抑えることができます。

※1バッチあたりのサイズ・数量には制限があります。

・電子染色のみのご依頼にも対応

RuO₄／OsO₄による電子染色のみのご依頼にも対応可能です（応相談）。
例えば、社外秘サンプル等、その後の試料作製や観察を自社内で行いたい場合の前処理としてもご利用いただけます。

まずは、お気軽にご相談ください。お問い合わせフォームはこちら