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ナノ微小硬度計(nano-Indentation)
分析原理
圧子を試料に圧入することにより硬度評価を行う手法
特徴
ナノオーダーの薄膜の硬度測定が可能
圧痕の表面形状観察が可能
事例
・半導体薄膜の硬度評価
・DLCの硬度評価
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