ナノ微小硬度計（nano-Indentation)

分析原理

圧子を試料に圧入することにより硬度評価を行う手法

特徴

ナノオーダーの薄膜の硬度測定が可能
圧痕の表面形状観察が可能

事例

・半導体薄膜の硬度評価
・DLCの硬度評価

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