試料にレーザーを照射して散乱されるラマン光のスペクトルにより結晶状態を分析する手法
分子や構造に関する情報の取得が可能
・DLCのD-Band,G-bandの評価・半導体結晶基板のイオン注入、アニール処理後の結晶性評価
