I-VカーブTLPショート・リーク試験
X線CT法超音波顕微鏡法 (SAM)エミッション顕微鏡法（EMMI）発熱画像解析 （Thermal EMMI）光ビーム加熱抵抗変 (OBIRCH）ナノプローブ解析(nano-Prober)C-AFM
