走査型容量顕微鏡(SCM)は、導電性AFM探針を試料表面に接触させた状態で、探針と試料間に交流電圧を印加し、
表面近傍に形成される空乏層の変調に伴う微小な静電容量変化（dC/dV）を検出する手法です。この容量変化は
キャリア濃度や導電型（p/n）に依存するため、SCMではキャリア極性の判別や相対的なドーピング分布を
ナノメートルスケールで評価できます。すなわち、SCMは「電気的応答（容量変調）を通してキャリア情報を
間接的に見る手法」です。
走査型広がり抵抗顕微鏡(SSRM)は、導電性AFM探針を試料断面に強く接触させ、探針と試料間に直流電圧を
印加して流れる電流を測定し、局所的な広がり抵抗（spreading resistance）を求める手法です。この抵抗値は
キャリア濃度に強く依存するため、SSRMではキャリア濃度に対応した局所抵抗分布を高空間分解能で取得できます。
すなわち、SSRMは「電流の流れやすさ（抵抗）を直接測定してキャリア濃度を評価する手法」です。
