---
title: 走査電子顕微鏡 (SEM)｜株式会社イオンテクノセンター
description: 走査電子顕微鏡（SEM）を用いて、材料表面の微細構造を高倍率で観察し、形状評価や材料分析に活用できる観察サービスを提供します。
image: https://iontc.co.jp/hubfs/assets/images/common/ogp.png
---

# 走査電子顕微鏡（SEM）

## 原理概要

走査電子顕微鏡 (SEM) は、電子線を用いて試料表面の微細構造を観察する装置です。電子銃から放出された電子は、高い電圧で加速され、電子レンズで細く絞られた電子ビーム（電子プローブ）となります。このビームを走査コイルで制御し、試料  
表面をスキャンします。電子ビームが試料に当たると、二次電子 (SE) や反射電子 (BSE) などの信号が発生します。これらの  
信号強度を電子ビームの走査位置と同期させ、モニター上に輝度（明るさ）として表示することで、高倍率の拡大画像が形成されます。

## 原理イメージ図

 

![SEM原理イメージ図](https://iontc.co.jp/hs-fs/hubfs/Analysis%20Service/%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%82%A4%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E5%9B%B3/SEM%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%82%A4%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E5%9B%B3.png?width=462&height=364&name=SEM%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%82%A4%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E5%9B%B3.png)

 

## 応用例

・各種材料表面凹凸及び組成の違いを把握  
・材料科学、半導体、金属、セラミックス、生物学、医学など、非常に幅広い分野で利用  
・試料を薄くして透過電子 (STEM) 像の撮影  
・低真空、大気非暴露、In-Situなど特殊環境下での観察

## 特徴と欠点

＜特徴＞

1. 光学顕微鏡に比べ、非常に高い拡大倍率 (数十倍から数百万倍程度) で観察

2. 高い解像度 (分解能) が得られ、微細な表面構造を詳細に観察

3. 焦点深度が深く、試料の表面の凹凸や三次元的な構造を立体的に観察

4. 電子線照射により凹凸情報だけでなく様々な信号が得られる  
  （SE、BSE、TE、EDX、WDX、EBSD、EBIC、CLなど）

 

＜欠点＞

1. 含水試料や導電性の低い試料は前処理 (水分除去、導電性コーティングなど) が必要

2. 磁性材料は電子線に影響を及ぼすため要注意

3. 表面から深い内部構造の観察が困難 (断面作製が必要)

4. 色の情報が得られないため、光学顕微鏡で確認できるもの全てが把握できるわけではない

 

## ご依頼時の留意点

＜試料基本情報 ＞

▸試料サイズ： 20mm角程度まで、厚さは~4mm厚まで 

　→上記以上のサイズの場合はご相談ください。

▸磁性材料、粉末材料は別途ご相談ください。

▸水分、溶剤等は含まない状態でご提供ください。

▸裏面はフラットな状態が望ましいです。

 

＜ご提供いただきたい情報＞

▸材料：主材、添加物、膜構成など

▸ご希望の観察倍率、サイズなど

▸試料の導電性情報

▸磁性の有無 

 

＜試料送付方法＞

▸チップケース、ウエハケース等容器に入れ、観察面には何も触れないようにしてお送りください。

　（輸送中の割れ等にご注意ください）

▸ケースに入れる際には、できるだけ試料がケース内で動かないようにしてください。　

　※裏面に強力なテープや液体材料等を使用しての固定はご遠慮ください。　

▸試料番号、IDの記載（試料表面、ケース上等）

　※裏面へのケガキはご遠慮ください。 

## アプリケーションノート

・[SEMによる撮像素子の表面、断面観察 (PDF)](https://iontc.co.jp/hubfs/Analysis%20Service/AppNote/300_AppNote%20SEM%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E6%92%AE%E5%83%8F%E7%B4%A0%E5%AD%90%E3%81%AE%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E3%80%81%E6%96%AD%E9%9D%A2%E8%A6%B3%E5%AF%9F_202601.pdf)

 

[一覧へ戻る](https://iontc.co.jp/service/ana#section03)

[![contact](https://iontc.co.jp/hs-fs/hubfs/assets/images/common/contact.png?width=520&height=162&name=contact.png)](http://43325678.hs-sites.com/service/contact_service_02/)

- [TOP](https://iontc.co.jp)      >      
- [サービストップ](https://iontc.co.jp/service)      >      
- [分析サービス](https://iontc.co.jp/service/ana)      >      
- 走査電子顕微鏡（SEM）

[![TOP](https://iontc.co.jp/hubfs/assets/images/common/btn-page-top.svg)](https://iontc.co.jp/service/ana/sem#)