走査電子顕微鏡（SEM）

試料に電子線を照射し、放出された二次電子を観察する手法

表面凹凸や形状観察が可能
組成によるコントラスト差の観察が可能
SEM＋EDXによる組成分析が可能(協力機関での対応)
FIB＋SEMによるスライス＆ビューでの観察が可能

・サブミクロンオーダー材料の厚み評価
・半導体故障解析
・各種材料表面凹凸及び組成の違いを把握
・各種材料断面構造の把握