二次イオン質量分析（SIMS）

分析原理

試料にイオンビームを照射しスパッタされた2次イオンを質量分析する手法

特徴

不純物の深さ方向の把握が可能
不純物濃度の測定が可能

事例

・各種材料の深さ方向分布
・イオン注入サンプルのデプスプロファイル

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