透過電子顕微鏡（TEM）

薄片試料に電子線を照射し、透過電子を観察する手法

サブナノオーダーの空間分解能の観察が可能
電子線回折により結晶構造解析が可能

・半導体の格子レベルの欠陥解析
・局所的な結晶構造把握
・STEM/EDX、EELSによる局所的元素分析
　(分析内容により協力機関での対応)