試料にX線を照射して表面(数nm)から放出される光電子のエネルギー分析により元素を同定し組成・化学結合状態を分析する手法
表面の元素・化学結合状態評価多層膜の組成深さ分布評価
・半導体薄膜の深さプロファイル・各種材料の表面数nmの組成分析・各種材料の表面数nmの結合状態評価
