X線光電子分光分析(XPS・ESCA)

分析原理

試料にX線を照射して表面(nm)から放出される光電子のエネルギー分析により元素を同定し組成・化学結合状態を分析する手法

特徴

表面の元素・化学結合状態評価
多層膜の組成深さ分布評価

事例

・半導体薄膜の深さプロファイル
・各種材料の表面数nmの組成分析
・各種材料の表面数nmの結合状態評価

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