X 線を物質表面すれすれに入射させ、その入射角度に対する X 線反射率を調べることで、膜厚、密度、表面や界面のラフネスといった膜構造パラメータを求める手法
膜厚、密度、粗さ評価が可能
・半導体薄膜の膜厚、密度、粗さ評価・DLCの膜厚、密度、粗さ評価
