学術誌JJAPに論文が掲載されました。

2023年2月27日にGaN自立基板へのMgチャネリング注入に関する研究成果が学術論文誌JJAP (Japanese Journal of Applied Physics)にて掲載されました。

Characterization of Magnesium Channeled Implantation Layers inGaN(0001)
Atsushi Suyama^1,2. Hitoshi Kawanowa², Hideaki Minagawa², Junko Maekawa²,
Shinji Nagamachi², Masahiko Aoki², Akio Ohta¹, Katsunori Makihara¹
and Seiichi Miyazaki¹

¹Graduate school of Engineering, Nagoya University,  ²Iont Technology Center CO., Ltd,