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Q.
概算費用はいくらですか？
A.
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Q.
まずは打ち合わせから進め方を相談できますか？
A.
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Q.
納期はどれくらいですか？
A.
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サービス
Q.
対応可能なイオン種は何ですか？
A.
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Q.
対応可能なドーズ量の範囲はどれくらいですか？
A.
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Q.
高温注入はできますか？
A.
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Q.
注入角度（tilt/twist）や入射角の指定はできますか？
A.
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試料・基板について
Q.
対応可能なウエハサイズ・サンプルサイズは？
A.
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Q.
マスク付き試料でも注入できますか？
A.
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Q.
試料の制約（汚染、金属付き、凹凸、表面状態など）はありますか？
A.
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Q.
マスク材料や膜厚に制限はありますか？
A.
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他技術サポート
Q.
シミュレーションや注入プロファイルの相談はできますか？
A.
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Q.
複数条件を同一ウエハ・面内で打ち分けできますか？
A.
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Q.
処理後の評価・解析（シート抵抗、SIMS、反り測定など）は対応できますか？
A.
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Q.
イオン注入後の処理（アニール、キャップ膜、剥離など）も対応できますか？
A.
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