FAQ

ご依頼前にこちらをご活用ください。またお気軽にお問い合わせもお待ちしております。

ご依頼について

Q.

概算費用はいくらですか?

A.

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Q.

まずは打ち合わせから進め方を相談できますか?

A.

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Q.

納期はどれくらいですか?

A.

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サービス

Q.

対応可能なイオン種は何ですか?

A.

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Q.

対応可能なドーズ量の範囲はどれくらいですか?

A.

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Q.

高温注入はできますか?

A.

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Q.

注入角度(tilt/twist)や入射角の指定はできますか?

A.

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試料・基板について

Q.

対応可能なウエハサイズ・サンプルサイズは?

A.

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Q.

マスク付き試料でも注入できますか?

A.

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Q.

試料の制約(汚染、金属付き、凹凸、表面状態など)はありますか?

A.

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Q.

マスク材料や膜厚に制限はありますか?

A.

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他技術サポート

Q.

シミュレーションや注入プロファイルの相談はできますか?

A.

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Q.

複数条件を同一ウエハ・面内で打ち分けできますか?

A.

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Q.

処理後の評価・解析(シート抵抗、SIMS、反り測定など)は対応できますか?

A.

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Q.

イオン注入後の処理(アニール、キャップ膜、剥離など)も対応できますか?

A.

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