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title: ５）二体散乱モデルによるイオン注入現象解析の課題
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# ５）二体散乱モデルによるイオン注入現象解析の課題

2023.11.10

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シリコンへのチャネリング注入の基礎的な事柄を説明しています 。一般的に使用されているイオン注入現象の解析コードの課題とそれらを補完する例について触れています。

> [二体散乱モデルによるイオン注入現象解析の課題](https://iontc.co.jp/hubfs/pdf/ion_injection7.pdf)

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