イオン注入 トピックス
シリコンへのチャネリング注入の基礎的な事柄を説明しています 。一般的に使用されているイオン注入現象の解析コードの課題とそれらを補完する例について触れています。
> 二体散乱モデルによるイオン注入現象解析の課題
