イオン注入　トピックス

8.チャネリング注入解析のためのモデル比較

2026.07.16

チャネリングイオン注入シミュレーションの解析モデルを再検討し、GaNにおける電子的阻止能を評価しました。SIMSプロファイルとの比較を通じて、軽元素特有のチャネリング挙動について考察しています。